Epi-wafers d’oxydes & nano-réseaux

La plateforme technologique de semi‑conducteurs d’oxydes de Nanovation couvre un large spectre d’applications en photonique, électronique et nanostructuration. Contrairement aux plateformes semi‑conductrices conventionnelles, les oxydes offrent un accès à des combinaisons de larges et ultra‑larges bandes interdites, à une stabilité intrinsèque des matériaux, ainsi qu’à une diversité de structures cristallines. Ces caractéristiques permettent l’émergence d’ensembles de propriétés, de concepts de dispositifs et de régimes de fonctionnement distinctifs, difficiles à atteindre avec les technologies standard au silicium ou nitrures III.

Un élément central de l’approche de Nanovation réside dans sa capacité à concevoir des matériaux d’oxydes au‑delà des spécifications standards, grâce à des outils et procédés de croissance développés en interne, plutôt qu’à l’utilisation de wafers standards ou de recettes matériaux figées. Cette maîtrise étroite de la croissance épitaxiale et de la structuration permet un ajustement précis des propriétés des matériaux en fonction des applications ciblées, offrant des caractéristiques difficiles à reproduire dans des environnements de production conventionnels.

Depuis plus de deux décennies, Nanovation a perfectionné cette approche de fabrication à travers de multiples cas d’usage orientés applications, allant de la détection et de l’imagerie jusqu’aux dispositifs électroniques et aux technologies liées à l’énergie.

Nanovation accompagne ses partenaires sur l’ensemble de la chaîne de développement, des matériaux aux dispositifs :

• Développement sur mesure de matériaux d’oxydes
• Prototypage et tests de dispositifs semi‑conducteurs (y compris
•  découpe laser)
• Laser Lift-Off
• Epitaxial Lift-Off
• Caractérisation des matériaux :
  • DRX (diffraction des rayons X)
  • Mesures de Hall
  • Inspection de wafers
  • Spectroscopie optique
  • Mesures d’épaisseur